[转让] 一种自旋转立式镀膜基架及镀膜设备

专利类型:发明

合作方式:转让

出售价格: 面议

专利详情

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摘要

本发明公开了一种自旋转立式镀膜基架,包括基架本体和支架,所述基架本体包括顶部的第一导向部和底部的第二导向部,所述支架用于承载待镀膜的样品,可旋转地设于所述基架本体上。本发明还公开了一种镀膜设备。本发明能够实现了流水线式生产,在保证薄膜质量的前提下,可以对样品多个表面一次性镀膜,镀膜工艺耗费时间短,产业化效率高,适合大规模工业化生产。

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