[转让] 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置

专利类别 : 发明	申请号 ： CN201210327591.4	申请日期 ： 2012-09-06
公开日期 ： 2014-08-06	专利名称 ： 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置	发明人 ： 陈旺寿,肖旭东,张撷秋,刘壮,顾光一,杨春雷,宋秋明
法律状态 ： 授权	申请人 ： 深圳先进技术研究院,香港中文大学	公开号 ： CN102912310B
主分类号 ： C23C14/50(20060101)	优先权号 ：	行业分类 ：

一种玻璃基片装载装置，包括：与地面垂直设置的框架，框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口，窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸；相互间隔设置的两个连接件，每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连，另一端与玻璃基片的顶部可转动相连，两个连接件的两个另一端的间距随着玻璃基片受热膨胀而伸长，且随着玻璃基片冷却收缩而缩小；及限位件，设于框架位于窗口的底部，限位件上开设有收容玻璃基片的底部的凹槽。当玻璃基片膨胀时，玻璃基片的横向间距会增大，两个连接件也会随之自然的张开，连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。本发明还提供一种应用了玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。

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