[转让] 二氟化氙气体腐蚀过程中锚的制作方法

本发明涉及一种XeF<Sub>2</Sub>腐蚀过程中锚的制作方法，其特征在于将SiO<Sub>2</Sub>、SiNx、SiC、Au、Al及Cr等XeF<Sub>2</Sub>气体几乎不腐蚀的材料淀积在要保护的锚周围，形成所需要的锚；或者直接采用XeF<Sub>2</Sub>气体几乎不腐蚀的材料来制作锚。锚结构有五种：锚由硅材料和覆盖在其周围的保护层材料构成；锚由硅材料、覆盖在其周围的保护层材料及填充层材料构成；锚由保护层材料及填充层材料构成；锚是由保护层材料构成的柱体；锚是由保护层材料构成的薄膜。上述五种锚结构涉及六种制作工艺。本发明的优点在于：一方面可准确控制微结构锚位置，增加单个硅片单元器件的产量，降低生产成本，另一方面还可提高阵列器件(如红外焦平面阵列器件)的占空比，改进器件性能。

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